窄脊半导体器件的制备方法 | |
杨冠卿 ; 梁平 ; 徐波 ; 陈涌海 ; 王占国 | |
专利国别 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院 |
学科主题 | 半导体物理 ; 半导体器件 |
公开日期 | 2017-06-05 |
申请日期 | 2017-01-22 |
专利申请号 | 201710054287 .X |
专利代理 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28210] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨冠卿,梁平,徐波,等. 窄脊半导体器件的制备方法. |
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