| 题名 | 基于浓硼扩散工艺的硅纳米线热电结构研究 |
| 作者 | 邓凌霄 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2017-05-27 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 王晓东 |
| 关键词 | 硅纳米线 热电优值 塞贝克系数 热导率 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 公开日期 | 2017-06-01 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28172]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邓凌霄. 基于浓硼扩散工艺的硅纳米线热电结构研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2017. |
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