一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置

	一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置
	张斌; 张俊彦; 高凯雄; 强力
	2016-04-13
专利国别	中国
专利号	201520837488.3
专利类型	实用新型
权利人	中国科学院兰州化学物理研究所
中文摘要	本实用新型属于物理气相沉积领域,公开了一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置，该装置包括磁控溅射靶，磁控溅射靶前设有磁靴，其中磁靴由一对磁场相反的电磁铁组成，磁靴产生的磁场平行于磁控溅射靶的靶面。本实用新型磁靴增强磁控溅射镀膜装置离化率可以由原来的10%提高到60%。
学科主题	材料科学与物理化学
公开日期	2016-04-13
申请日期	2015-10-27
语种	中文
专利申请号	CN205152321U
专利代理	方晓佳
内容类型	专利
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/21667]
专题	兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
作者单位	中国科学院兰州化学物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张斌,张俊彦,高凯雄,等. 一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置. 201520837488.3. 2016-04-13.