ZnO单晶和BeZnO合金的生长及其紫外探测器研究Growth of ZnO Single Crystal and BeZnO Alloy and Ultraviolet Detector

	ZnO单晶和BeZnO合金的生长及其紫外探测器研究Growth of ZnO Single Crystal and BeZnO Alloy and Ultraviolet Detector
	王玉超; 张权林; 苏龙兴; 沈正川; 吴天准; 汤子康
刊名	发光学报Chinese Journal of Luminescence
	2015
英文摘要	用分子束外延（MBE）的方法在c面蓝宝石衬底上生长出了高质量的ZnO单晶薄膜和BexZn1-xO基合金薄膜。X射线光电子能谱（XPS）测试结果表明，合金材料中Be元素的摩尔分数分别为1.8%，4.9%，8.0%和15.3%。在此基础上制备了ZnO基和BexZn1-xO基的金属-半导体-金属（MSM）结构紫外探测器。ZnO单晶探测器的响应波长为375nm，在1V电压下，350nm处的光响应度高达43A/W，光电流和暗电流之比达到105量级。在BexZn1-xO基紫外探测器中，其截止时间和可见波段的光电流之比达到2-3个数量级，具有良好的信噪比。此外，提高了氧气等离子体表面处理降低探测器暗电流的方法，并使ZnO单晶探测器的暗电流降低了4个数量级。
收录类别	EI
原文出处	http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-FGXB201511002.htm
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/7119]
专题	深圳先进技术研究院_医工所
作者单位	发光学报Chinese Journal of Luminescence
推荐引用方式 GB/T 7714	王玉超,张权林,苏龙兴,等. ZnO单晶和BeZnO合金的生长及其紫外探测器研究Growth of ZnO Single Crystal and BeZnO Alloy and Ultraviolet Detector[J]. 发光学报Chinese Journal of Luminescence,2015.
APA	王玉超,张权林,苏龙兴,沈正川,吴天准,&汤子康.(2015).ZnO单晶和BeZnO合金的生长及其紫外探测器研究Growth of ZnO Single Crystal and BeZnO Alloy and Ultraviolet Detector.发光学报Chinese Journal of Luminescence.
MLA	王玉超,et al."ZnO单晶和BeZnO合金的生长及其紫外探测器研究Growth of ZnO Single Crystal and BeZnO Alloy and Ultraviolet Detector".发光学报Chinese Journal of Luminescence (2015).