ZnO单晶和BeZnO合金的生长及其紫外探测器研究Growth of ZnO Single Crystal and BeZnO Alloy and Ultraviolet Detector | |
王玉超; 张权林; 苏龙兴; 沈正川; 吴天准; 汤子康 | |
刊名 | 发光学报Chinese Journal of Luminescence
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2015 | |
英文摘要 | 用分子束外延(MBE)的方法在c面蓝宝石衬底上生长出了高质量的ZnO单晶薄膜和BexZn1-xO基合金薄膜。X射线光电子能谱(XPS)测试结果表明,合金材料中Be元素的摩尔分数分别为1.8%,4.9%,8.0%和15.3%。在此基础上制备了ZnO基和BexZn1-xO基的金属-半导体-金属(MSM)结构紫外探测器。ZnO单晶探测器的响应波长为375nm,在1V电压下,350nm处的光响应度高达43A/W,光电流和暗电流之比达到105量级。在BexZn1-xO基紫外探测器中,其截止时间和可见波段的光电流之比达到2-3个数量级,具有良好的信噪比。此外,提高了氧气等离子体表面处理降低探测器暗电流的方法,并使ZnO单晶探测器的暗电流降低了4个数量级。 |
收录类别 | EI |
原文出处 | http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-FGXB201511002.htm |
语种 | 中文 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/7119] ![]() |
专题 | 深圳先进技术研究院_医工所 |
作者单位 | 发光学报Chinese Journal of Luminescence |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王玉超,张权林,苏龙兴,等. ZnO单晶和BeZnO合金的生长及其紫外探测器研究Growth of ZnO Single Crystal and BeZnO Alloy and Ultraviolet Detector[J]. 发光学报Chinese Journal of Luminescence,2015. |
APA | 王玉超,张权林,苏龙兴,沈正川,吴天准,&汤子康.(2015).ZnO单晶和BeZnO合金的生长及其紫外探测器研究Growth of ZnO Single Crystal and BeZnO Alloy and Ultraviolet Detector.发光学报Chinese Journal of Luminescence. |
MLA | 王玉超,et al."ZnO单晶和BeZnO合金的生长及其紫外探测器研究Growth of ZnO Single Crystal and BeZnO Alloy and Ultraviolet Detector".发光学报Chinese Journal of Luminescence (2015). |
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