沉积薄膜的装置和方法 | |
李朝晖; 宋秋明; 张军; 顾光一; 肖旭东 | |
2012-12-12 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | 201210535035.6 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 深圳先进技术研究院 ; 香港中文大学 |
授权日期 | 2015-06-03 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/8294] ![]() |
专题 | 深圳先进技术研究院_先进院专利 |
作者单位 | 2012-12-12 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李朝晖,宋秋明,张军,等. 沉积薄膜的装置和方法 . 201210535035.6. 2012-12-12. |
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