碲镉汞液相外延薄膜背面残液的去除方法
1孙瑞贇 2杨建荣 3魏彦锋 4张传杰 5孙权志 6陈倩男 7张娟 8陈晓静
2014-01-01
专利国别中国
专利号201210142488.2
专利类型发明
权利人上海技术物理研究所
是否PCT专利
公开日期2015-01-06
申请日期2012-01-01
语种中文
专利证书号1528332
专利申请号201210142488.2
专利代理上海新天专利代理有限公司
内容类型专利
源URL[http://202.127.1.142/handle/181331/7857]  
专题上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式
GB/T 7714
1孙瑞贇 2杨建荣 3魏彦锋 4张传杰 5孙权志 6陈倩男 7张娟 8陈晓静. 碲镉汞液相外延薄膜背面残液的去除方法. 201210142488.2. 2014-01-01.
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