高纯半导体材料的水平真空区熔制备方法
1张可锋2林杏潮3张莉萍4 邵秀华5王仍6焦翠灵 7陆液 8杜云辰9宋坤骏10李向阳
2014-01-01
专利国别中国
专利号201110362040.7
专利类型发明
权利人上海技术物理研究所
是否PCT专利
公开日期2015-01-06
申请日期2012-01-01
语种中文
专利证书号1376745
专利申请号201110362040.7
专利代理上海新天专利代理有限公司
内容类型专利
源URL[http://202.127.1.142/handle/181331/7825]  
专题上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式
GB/T 7714
1张可锋2林杏潮3张莉萍4 邵秀华5王仍6焦翠灵 7陆液 8杜云辰9宋坤骏10李向阳. 高纯半导体材料的水平真空区熔制备方法. 201110362040.7. 2014-01-01.
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