用于高反射率表面高精度测量的C-D膜优化设计

	用于高反射率表面高精度测量的C-D膜优化设计
	李永 ; 唐锋 ; 王向朝 ; 卢云君 ; 万修龙 ; 郭福东
	2014
中文摘要	现代光学干涉测量技术具有快速、非接触、可全场测量、高灵敏度和高精度等特点,是高精度光学精密检测的主要方法。干涉图对比度的高低直接影响相位提取的准确性,影响干涉测量结果的准确性。通常斐索干涉仪参考镜的反射率为4%左右,当测量高反射率表面时,干涉对比度会迅速下降;如当被测面反射率大于80%时,干涉对比度小于10%,无法实现正常检测。采用高反射率的参考面可以提高干涉对比度,但又会引起多次反射寄生干涉,使干涉光强偏离正弦分布从而影响测量精度。针对高反射率表面面形检测中存在的问题,C1apham和Dew提出在参考面上镀一层由电解质层和吸收层构成的复合吸收反射膜(C-D膜),以减少多次反射
会议录	第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/17257]
专题	上海光学精密机械研究所_信息光学与光电技术实验室
作者单位	1.中国科学院上海光学精密机械研究所 2.中国科学院研究生院
推荐引用方式 GB/T 7714	李永,唐锋,王向朝,等. 用于高反射率表面高精度测量的C-D膜优化设计[C]. 见:.