基于光学色散的锥角检测方法

	基于光学色散的锥角检测方法
	张运波; 曾爱军; 王莹; 袁乔; 黄惠杰
	2014
中文摘要	锥透镜可以产生中空的激光光束被广泛应用于等离子体、高端光刻设备、激光泵浦、贝塞尔光束及超连续光谱等。锥角是描述锥透镜光学特性必不可少的参量。传统的方法主要采用三坐标测量仪,目前较为流行的锥角检测手段主要有马赫增德尔干涉法、剪切干涉法及采用全息元件的干涉法,全部基于干涉测量技术。虽然这些测量方法具有较高的测量精度,但是测量系统复杂,测量范围小。本文提出一基于光学色散的锥角测量方法。该方法只需测量两个波长的光束经过锥透
会议录	第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/17240]
专题	上海光学精密机械研究所_信息光学与光电技术实验室
作者单位	中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张运波,曾爱军,王莹,等. 基于光学色散的锥角检测方法[C]. 见:.