红移高功率大失谐驻波光场原子光刻 | |
曾庆林; 霍芸生; 蔡惟泉; 王育竹 | |
刊名 | 光学学报
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2001 | |
卷号 | 21期号:8页码:918 |
中文摘要 | 研究了红移大失谐驻波光场在高功率的情况下对原子束的聚焦特性 ,数值结果显示在激光功率较高的情况下 ,有实现原子光刻的可能。在单线功率输出为P =7W ,光斑尺寸为w0 =0 .1mm的Ar+ 离子激光束的条件下 ,Cr原子束在置于焦平面处的基板上所沉积的条纹半高宽度为 2 0nm左右 ,对比度为 4~ 5。提出了用增强腔来提高条纹对比度和减小色差的办法。在势阱深度增强 2 5 0 0倍时 ,沉积的条纹半高宽度为 5nm~ 10nm ,对比度约为 7,条纹有了明显的改善 |
收录类别 | EI |
语种 | 中文 |
内容类型 | 期刊论文 |
版本 | 出版稿 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/17395] ![]() |
专题 | 上海光学精密机械研究所_量子光学重点实验室 |
作者单位 | 1.曾庆林, 中科院上海光学精密机械所, 量子光学开放实验室, 上海 201800, 中国. 2.霍芸生, 中科院上海光学精密机械所, 量子光学开放实验室, 上海 201800, 中国. 3.蔡惟泉, 中科院上海光学精密机械所, 量子光学开放实验室, 上海 201800, 中国. 4.王育竹, 中科院上海光学精密机械所, 量子光学开放实验室, 上海 201800, 中国. |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 曾庆林,霍芸生,蔡惟泉,等. 红移高功率大失谐驻波光场原子光刻[J]. 光学学报,2001,21(8):918. |
APA | 曾庆林,霍芸生,蔡惟泉,&王育竹.(2001).红移高功率大失谐驻波光场原子光刻.光学学报,21(8),918. |
MLA | 曾庆林,et al."红移高功率大失谐驻波光场原子光刻".光学学报 21.8(2001):918. |
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