题名 | 氟化碳基薄膜的制备及其真空摩擦学行为研究 |
作者 | 张礼芳1,2 |
学位类别 | 工程硕士 |
答辩日期 | 2015-05-29 |
授予单位 | 中国科学院大学 |
授予地点 | 北京 |
导师 | 张俊彦 ; 张克金 |
关键词 | 氟化碳基薄膜 可控制备 真空摩擦 润滑作用 Fluorinated carbon films Controllable fabrication Vacuum friction Lubrication effect |
学位专业 | 材料工程 |
中文摘要 | 氟化碳基薄膜具有低表面能,低摩擦系数,高化学惰性、低介电常数等优异性能,被广泛地应用在材料、工程、生物等领域。本论文工作围绕氟化碳基薄膜,探索了该薄膜的可控制备方法,集中考察了薄膜的摩擦行为,初步揭示了氟化碳基薄膜的真空摩擦学特性,具体研究结论包括: 1. 氟化碳基薄膜的可控制备。采用脉冲直流等离子体化学气相沉积技术,选取CF4和CH4作为反应源气体,在硅片上沉积制备了氟化碳基薄膜,研究了CF4/CH4气体流量比例对氟化碳基薄膜中F原子浓度及薄膜键合结构的影响。研究结果表明,随着CF4/CH4气体流量比例的增大,氟化碳基薄膜中 F 含量逐渐增加;当F含量增加到5.9 at.%,薄膜中开始出现-CF2官能团信号;当F含量大于6.8 at.%之后,C-F峰的半峰宽明显变窄,峰强度增大。随着薄膜中 F含量的增加,薄膜结构由C-C键合结构,逐渐过渡到C-CF、C-F、-CF2结构。 2. 氟化类金刚石薄膜的真空摩擦学行为。研究了表面纳米级光滑的氟化类金刚石(F-DLC)薄膜和Al2O3对偶之间的真空摩擦行为。研究结果表明,Al2O3/F-DLC摩擦配副的摩擦系数随着载荷的增大而减小;当载荷为 0.5 N、1.0 N时,对偶球表面摩擦产物很少,当载荷为1.5 N 时,对偶球表面积累了一定量的碳基薄膜;XPS分析显示三种载荷条件下对偶球表面F原子浓度和F/C原子比较低。随着载荷的增大,摩擦过程中产生的碳基薄膜起到了润滑作用,因此摩擦系数减小。 |
学科主题 | 碳基薄膜纳米结构演变与摩擦机理 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/20788] ![]() |
专题 | 兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心 |
作者单位 | 1.中国科学院兰州化学物理研究所 2.中国科学院大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张礼芳. 氟化碳基薄膜的制备及其真空摩擦学行为研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2015. |
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