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	Optical Properties Investigation of p-Type ZnO Film Based on Doping by Diffusion
	F. Chen; D. Fang; S. P. Wang; X. Fang; J. L. Tang; H. F. Zhao; F. Fang; X. Y. Chu; J. H. Li; F. Wang
刊名	Spectroscopy and Spectral Analysis
	2015
卷号	35期号:7
英文摘要	Ｔｈｅ　ｍａｉｎ　ｐｕｒｐｏｓｅ　ｏｆ　ｔｈｉｓ　ｐａｐｅｒ　ｉｓ　ｔｏ　ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅ　ｔｈｅ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　ｐ－ｔｙｐｅ　ＺｎＯ　ｆｉｌｍ　ｂａｓｅｄ　ｏｎ　Ｐ　ｄｏｐｉｎｇ．ＺｎＯ　ｆｉｌｍ ｗａｓ　ｇｒｏｗｎ　ｂｙ　Ａｔｏｍｉｃ　ｌａｙｅｒ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＡＬＤ）ｏｎ　ＩｎＰ　ｓｕｂｓｒａｔｅ　ｉｎ　ｔｈｉｓ　ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ，ａｎｄ　ｐｈｏｓｐｈｏｒｕｓ　ｄｉｆｆｕｓｅｄ　ｉｎｔｏ　ＺｎＯ　ｌａｔｔｉｃｅ　ｂｙ ａｎｎｅａｌｉｎｇ　ｔｒｅａｔｍｅｎｔ　ａｔ　ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ　ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ（５００，７００℃）．Ｔｈｅ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　ｓａｍｐｌｅｓ　ｗｅｒｅ　ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ　ｂｙ　ｐｈｏｔｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ（ ＰＬ）ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ，ｗｈｉｃｈ　ｉｎｄｉｃａｔｅｄ　ｔｈａｔ　ｔｈｅ　ａｎｎｅａｌｉｎｇ　ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ｉｓ　ｔｈｅ　ｉｍｐｏｒｔａｎｔ　ｆａｃｔｏｒ　ｉｎｆｌｕｅｎｃｉｎｇ　ｔｈｅ　ｐｈｏｓｐｈｏｒｕｓ ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｄｏｐｉｎｇ．Ｔｈｅ　ｌｏｗ－ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ＰＬ　ｓｐｅｃｔｒａ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｓａｍｐｌｅ　ｗｈｉｃｈ　ａｎｎｅａｌｅｄ　ａｔ　７００℃ｆｏｒ　１ｈｅｘｈｉｂｉｔｅｄ　ａｃｃｅｐｔｏｒ　ｒｅｌａｔｅｄ　ｅｍｉｓｓｉｏｎ 　ｐｅａｋｓ　ｌｏｃａｔｅｄ　ａｔ　３．３５１，３．３１１，３．２４６ａｎｄ　３．１７７ｅＶ，ｗｈｉｃｈ　ｗｅｒｅ　ａｔｔｒｉｂｕｔｅｄ　ｔｏ　Ａ°Ｘ，ＦＡ，ＤＡＰ　ａｎｄ　ＤＡＰ－１ＬＯ，ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ． Ｔｈｅ　ａｃｃｅｐｔｏｒ　ｂｉｎｄｉｎｇ　ｅｎｅｒｇｙ　ｉｓ　ｅｓｔｉｍａｔｅｄ　ｔｏ　ｂｅ　ａｂｏｕｔ　１２２ｍｅＶ，ｗｈｉｃｈ　ｉｓ　ａｇｒｅｅｄ　ｗｉｔｈ　ｔｈｅ　ｔｈｅｏｒｅｔｉｃ　ｖａｌｕｅｓ　ｉｎ　ｐｈｏｓｐｈｏｒｕｓ－ｄｏｐｅｄ ＺｎＯ　ｆｉｌｍｓ．Ｉｎ　ｔｈｉｓ　ｐａｐｅｒ，ｔｈｒｏｕｇｈ　ｔｈｅｒｍａｌ　ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ　ｍｅｔｈｏｄ　ｔｏ　ｒｅａｌｉｚｅ　ｔｈｅ　ｐ－ｔｙｐｅ　ｄｏｐｅｄ　ＺｎＯ　ｔｈｉｎ　ｆｉｌｍｓ，ｉｔ　ｓｏｌｖｅｄ　ｔｈｅ　ｍａｉｎ　ｐｒｏｂｌｅｍｓ 　ｗｈｉｃｈ　ｌｉｍｉｔｅｄ　ｔｈｅ　ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ　ｏｆ　ＺｎＯ　ｂａｓｅｄ　ｏｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ　ｄｅｖｉｃｅｓ，ａｎｄ　ｈａｓ　ａｎ　ｉｍｐｏｒｔａｎｔ　ｓｉｇｎｉｆｉｃａｎｃｅ　ｆｏｒ　ｔｈｅ　ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｏｆ　ｔｈｅ　ＺｎＯ　ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ｍａｔｅｒｉａｌｓ　ａｎｄ　ＺｎＯ　ｂａｓｅｄ　ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｉｃ　ｄｅｖｉｃｅ
收录类别	SCI
语种	英语
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/55934]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	F. Chen,D. Fang,S. P. Wang,et al. Optical Properties Investigation of p-Type ZnO Film Based on Doping by Diffusion[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis,2015,35(7).
APA	F. Chen.,D. Fang.,S. P. Wang.,X. Fang.,J. L. Tang.,...&X. H. Ma and Z. P. Wei.(2015).Optical Properties Investigation of p-Type ZnO Film Based on Doping by Diffusion.Spectroscopy and Spectral Analysis,35(7).
MLA	F. Chen,et al."Optical Properties Investigation of p-Type ZnO Film Based on Doping by Diffusion".Spectroscopy and Spectral Analysis 35.7(2015).

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