紫外-真空紫外光谱反射率测试系统

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	紫外-真空紫外光谱反射率测试系统
	汪龙祺; 匡海鹏; 曹小涛
刊名	国外电子测量技术
	2015-09-15
期号	09 页码:17-21
关键词	光谱反射率光谱分辨率紫外-真空紫外锁相放大
中文摘要	为获取紫外-真空紫外光学元件的光谱反射率,构建了一套反射率测试系统。该反射率测试系统主要由Seya-Namioka紫外-真空紫外单色仪、样品精密转台为主体的光机结构和电子学系统组成。首先,介绍了系统测量原理,采用双光路补偿法消除了光源随时间的飘移,通过改变系统光路进行两次测量来获取反射光与入射光数据,进而得到光谱反射率。接着对电子学硬件系统进行描述,给出了驱动控制单元与信号处理采集单元的硬件设计与组成。因紫外-真空紫外光谱信号微弱,采用了锁相放大的方法提高了测量精度。该反射率测试系统测试结果表明波长重复性0.05nm,反射率测量重复精度为1.8%,系统功能完备稳定性好,能够实现对光学元件的高精度测量。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54311]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	汪龙祺,匡海鹏,曹小涛. 紫外-真空紫外光谱反射率测试系统[J]. 国外电子测量技术,2015(09):17-21.
APA	汪龙祺,匡海鹏,&曹小涛.(2015).紫外-真空紫外光谱反射率测试系统.国外电子测量技术(09),17-21.
MLA	汪龙祺,et al."紫外-真空紫外光谱反射率测试系统".国外电子测量技术 .09(2015):17-21.