压电陶瓷驱动FSM三自由度柔性支撑设计

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	压电陶瓷驱动FSM三自由度柔性支撑设计
	方楚; 郭劲; 徐新行; 王挺峰
刊名	红外与激光工程
	2015-10-25
期号	10 页码:2987-2994
关键词	快速反射镜四周式柔性支撑支撑杆支撑片压电陶瓷
中文摘要	为了有效吸收反射镜偏转造成驱动点的横向位置偏差,保护压电陶瓷驱动器,抑制反射镜在非工作方向上的自由度,提高系统谐振频率,设计了基于压电陶瓷驱动的快速反射镜三自由度柔性支撑。首先根据压电陶瓷驱动的快速反射镜对柔性支撑的设计要求确定了由支撑杆与支撑片组成的三自由度四周式柔性支撑方案,再利用压杆稳定性理论与变形能法对支撑杆与支撑片进行参数设计,最后利用workbench对设计结果进行分析。有限元分析结果表明,直径1 mm、长度8 mm的柔性支撑杆的应用可以使压电陶瓷的剪切位移减少86.7%,柔性支撑片的应用使反射镜一阶模态为轴向平移振动,谐振频率为360 Hz,二三阶模态为反射镜两轴偏摆振动,谐振频率为420 Hz,而高阶模态在1 000 Hz以上。三自由度柔性支撑可以有效防止压电陶瓷受到剪切破坏,提高快速反射镜结构谐振频率,有利于提高系统闭环带宽。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54181]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	方楚,郭劲,徐新行,等. 压电陶瓷驱动FSM三自由度柔性支撑设计[J]. 红外与激光工程,2015(10):2987-2994.
APA	方楚,郭劲,徐新行,&王挺峰.(2015).压电陶瓷驱动FSM三自由度柔性支撑设计.红外与激光工程(10),2987-2994.
MLA	方楚,et al."压电陶瓷驱动FSM三自由度柔性支撑设计".红外与激光工程 .10(2015):2987-2994.