瑞奇-康芒式大口径平面镜面形数据处理方法对比研究 | |
朱硕; 张晓辉 | |
刊名 | 应用光学
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2015-09-15 | |
期号 | 05页码:698-703 |
关键词 | 光学检测 大口径平面镜 瑞奇-康芒 面形误差 Zernike |
中文摘要 | 为使瑞奇-康芒法检测结果更为真实地反映出被检平面镜的面形情况,对瑞奇-康芒检测数据处理方法进行研究。针对现有的数据模型,提出利用坐标转换关系法计算平面镜的面形误差。利用仿真验证坐标转换法的有效性并分析此方法的理论计算精度。通过对比实验结果与干涉仪直接检测结果可知,坐标转换法的实际PV检测精度优于1/20λ,RMS检测精度优于1/100λ,达到高精度检测要求。相比影响矩阵法结果,PV精度提高了0.013λ,RMS精度提高了0.003 7λ,证明坐标转换法更适用于瑞奇-康芒法数据处理分析。 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54057] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱硕,张晓辉. 瑞奇-康芒式大口径平面镜面形数据处理方法对比研究[J]. 应用光学,2015(05):698-703. |
APA | 朱硕,&张晓辉.(2015).瑞奇-康芒式大口径平面镜面形数据处理方法对比研究.应用光学(05),698-703. |
MLA | 朱硕,et al."瑞奇-康芒式大口径平面镜面形数据处理方法对比研究".应用光学 .05(2015):698-703. |
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