利用相位差异法检测镜面面形

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	利用相位差异法检测镜面面形
	马鑫雪; 王建立
刊名	光学精密工程
	2015-04-15
期号	04 页码:975-981
关键词	镜面面形面形检测相位差异法泽尔尼克多项式像差
中文摘要	为了验证相位差异波前检测器演示系统利用自带光源独立完成波前检测任务的能力,搭建了基于相位差异法检测镜面面形的实验平台。测试时在焦面和离焦面上同时采集短曝光图像,在已知离焦量的前提下解算出波前相位分布并恢复出目标,从而实现对大镜面像差的估计。为了进一步验证相位差异测量方法的准确性,对相位差异法与高精度的ZYGO干涉仪得到的测量结果进行了比较分析。实验结果表明:两种方法获得的面形误差分布及误差的峰谷值(PV)和均方根值(RMS)一致性很好,而波前RMS的测量精度达到了2.83/1 000λ。得到的结果表明提出的相位差异法能有效地检测出镜面的像差,且准确性很好。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54000]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	马鑫雪,王建立. 利用相位差异法检测镜面面形[J]. 光学精密工程,2015(04):975-981.
APA	马鑫雪,&王建立.(2015).利用相位差异法检测镜面面形.光学精密工程(04),975-981.
MLA	马鑫雪,et al."利用相位差异法检测镜面面形".光学精密工程 .04(2015):975-981.