高精度相位型计算全息图的设计

	高精度相位型计算全息图的设计
	朱德燕; 张学军
刊名	光学学报
	2015-07-10
期号	07 页码:182-188
关键词	全息计算全息图高精度自由曲面误差分析光学检测
中文摘要	为了解决非球面及自由曲面的高精度检测问题,基于二元光学计算机全息图(CGH)模型基础,分析了该模型下相位型CGH各项误差对CGH检测精度的影响,同时结合工程实例,针对口径为846 mm×630 mm的自由曲面,设计了相应的相位型CGH,并实验验证了该设计的可行性。结果显示:在设计时应先将相位型CGH的各个衍射级次进行分离;改变CGH到干涉仪焦点距离以减小刻画畸变同时保证CGH尺寸;再将基板误差检测出来,并代入设计结果进行补偿标定;最后在编码时将占空比选择为0.5,刻蚀深度选择在0.3λ减小占空比误差、相位函数误差和振幅误差。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53597]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	朱德燕,张学军. 高精度相位型计算全息图的设计[J]. 光学学报,2015(07):182-188.
APA	朱德燕,&张学军.(2015).高精度相位型计算全息图的设计.光学学报(07),182-188.
MLA	朱德燕,et al."高精度相位型计算全息图的设计".光学学报 .07(2015):182-188.