大口径SiC离轴非球面的高效磨削加工

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	大口径SiC离轴非球面的高效磨削加工
	殷龙海; 王孝坤; 李龙响; 李丽富; 张志宇; 郑立功; 张学军
刊名	光学精密工程
	2015-09-15
期号	09 页码:2497-2505
关键词	光学制造 SiC离轴非球面快速磨削超声复合磨削在线检测
中文摘要	研究了空间遥感器用大口径SiC离轴非球面的超声复合磨削加工工艺。分别对磨削原理、金刚石砂轮结合剂选择、机床选取、磨削参数设定等进行了分析,并设计和规划了磨削工艺流程。基于逆向工程原理建立了高精度离轴非球面模型,创立了激光跟踪仪精磨阶段在线测量大口径离轴非球面的工艺。结合工程实践对一口径为700mm×700mm的SiC高次离轴非球面元件进行了逆向工程建模和超声磨削加工试验,并利用激光跟踪仪进行了在线检测。经过3个周期(每个周期4h)的修磨,其面形精度PV值和RMS值分别由45.986μm和7.949μm收敛至12.181μm和2.131μm;与三坐标测试结果进行对比,其PV值和RMS值的偏差分别为0.892 3μm和0.312 8μm。实验显示,提出的磨削工艺实现了大口径SiC离轴非球面的快速精确磨削,其加工精度、效率以及表面质量都有了很大的提高。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53458]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	殷龙海,王孝坤,李龙响,等. 大口径SiC离轴非球面的高效磨削加工[J]. 光学精密工程,2015(09):2497-2505.
APA	殷龙海.,王孝坤.,李龙响.,李丽富.,张志宇.,...&张学军.(2015).大口径SiC离轴非球面的高效磨削加工.光学精密工程(09),2497-2505.
MLA	殷龙海,et al."大口径SiC离轴非球面的高效磨削加工".光学精密工程 .09(2015):2497-2505.