可见光二维小孔矢量衍射分析

	可见光二维小孔矢量衍射分析
	许嘉俊; 邢廷文
刊名	光学学报
	2011
卷号	31 期号:12 页码:1205003-1-6
通讯作者	许嘉俊
中文摘要	现代精密光学系统的发展，对光学元件的加工和检测提出了非常严格的要求，达到纳米量级。相移式点衍射干涉仪是一种应用在纳米精度检测中的常用干涉仪，其参考波前由直径在几百纳米量级的小孔衍射产生，其衍射波前与理想波面的误差，决定了干涉仪的检测精度。基于有限元方法，计算了聚焦入射情况下，不同直径小孔的衍射波面。分析了聚焦斑发生对准误差和倾斜误差下，对衍射波面的影响。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4220]
专题	光电技术研究所_应用光学研究室（二室）
作者单位	中国科学院光电技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	许嘉俊,邢廷文. 可见光二维小孔矢量衍射分析[J]. 光学学报,2011,31(12):1205003-1-6.
APA	许嘉俊,&邢廷文.(2011).可见光二维小孔矢量衍射分析.光学学报,31(12),1205003-1-6.
MLA	许嘉俊,et al."可见光二维小孔矢量衍射分析".光学学报 31.12(2011):1205003-1-6.