浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究

	浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究
	张杨 ; 徐清兰 ; 陈梅 ; 张蓉竹
刊名	光学技术
	2014
期号	6 页码:486-491
关键词	浴法抛光抛光粉粒径抛光粉均匀性表面粗糙度去除速率
通讯作者	张杨
中文摘要	为了分析抛光粉粒径对材料去除效果的影响,选用不同的平均粒径以及不同比例混合氧化铈抛光粉分别对K9玻璃进行了抛光试验。对抛光后的工件表面粗糙度及去除量进行了定量研究。结果表明,在试验条件相同的情况下,不同平均粒径的抛光粉,粒径越小,抛光后的元件表面粗糙度越好。从使用不同比例的混合抛光粉试验中可以看出,粒度的均匀性是影响工件表面粗糙度的重要因素。结合抛光粉粒度分布图和试验结果可以看出,抛光粉粒子的分布范围越小,以及各粒径大小分布在峰值附近的粒子所占体积百分比越接近,加工后的工件表面粗糙度越小。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7028]
专题	光电技术研究所_先光中心
作者单位	1.四川大学电子信息学院 2.中国科学院光电技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张杨,徐清兰,陈梅,等. 浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究[J]. 光学技术,2014(6):486-491.
APA	张杨,徐清兰,陈梅,&张蓉竹.(2014).浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究.光学技术(6),486-491.
MLA	张杨,et al."浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究".光学技术 .6(2014):486-491.