双工件台光刻机中的调平调焦技术

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	双工件台光刻机中的调平调焦技术
	李金龙; 赵立新; 胡松; 周绍林
刊名	光电工程
	2010
卷号	37 期号:8 页码:24-28
通讯作者	李金龙
中文摘要	针对星敏感器往小型化、高精度、大视场、多参数、高可靠性方向发展的趋势,将颜色温度作为星敏感器姿态辅助判别依据已经成为相关研究内容。因此,本文以星模拟器为应用背景,以模拟恒星星体色温为目标,主要讨论了恒星与色温的相关定义,将实现在较宽范围的色温可调而且稳定可靠作为主要研究内容。为了实现这一目标,本文在分析了色度学、光度学相关知识的基础之上,改进了颜色相加的计算方法,搭建了以TMS320F2812数字信号控制器和积分球为核心的实验平台。实验结果表明：利用该方法可以实现从2600～10000K范围内色温的连续可调;在外界环境温度相同的条件下能够保证色温的稳定性和一致性;指出了环境温度是影响色温稳定性的重要原因。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7242]
专题	光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室）
作者单位	中国科学院光电技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	李金龙,赵立新,胡松,等. 双工件台光刻机中的调平调焦技术[J]. 光电工程,2010,37(8):24-28.
APA	李金龙,赵立新,胡松,&周绍林.(2010).双工件台光刻机中的调平调焦技术.光电工程,37(8),24-28.
MLA	李金龙,et al."双工件台光刻机中的调平调焦技术".光电工程 37.8(2010):24-28.