光谱法确定离子束溅射Ta_2O_5/SiO_2薄膜的光学常数及其性能

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	光谱法确定离子束溅射Ta_2O_5/SiO_2薄膜的光学常数及其性能
	尚鹏 ; 熊胜明 ; 李凌辉 ; 田东
刊名	光学学报
	2014
卷号	34 期号:5 页码:306-312
关键词	薄膜光学常数透射光谱 Ta2O5/SiO2
通讯作者	尚鹏
中文摘要	采用双离子溅射的方法,在硅、石英基底上制备了单层Ta2O5、SiO2及双层Ta2O5/SiO2光学薄膜。结合Cauchy色散模型,利用石英基底上单层Ta2O5及双层Ta2O5/SiO2薄膜透射光谱曲线,采用改进的遗传单纯形混合算法,获得了Ta2O5和SiO2薄膜材料在400~700nm波段的光学常数。结果表明,理论分析值与实验测量值取得了很好的一致性,拟合出的单层Ta2O5薄膜折射率误差小于0.001,膜层厚度误差不超过1nm;双层Ta2O5/SiO2薄膜最大折射率误差小于0.004,最大厚度误差小于2.5nm。此外,还对400℃高温环境下双层Ta2O5/SiO2薄膜的微观结构、应力、表面形貌...
收录类别	Ei
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6635]
专题	光电技术研究所_薄膜光学技术研究室（十一室）
作者单位	1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院大学
推荐引用方式 GB/T 7714	尚鹏,熊胜明,李凌辉,等. 光谱法确定离子束溅射Ta_2O_5/SiO_2薄膜的光学常数及其性能[J]. 光学学报,2014,34(5):306-312.
APA	尚鹏,熊胜明,李凌辉,&田东.(2014).光谱法确定离子束溅射Ta_2O_5/SiO_2薄膜的光学常数及其性能.光学学报,34(5),306-312.
MLA	尚鹏,et al."光谱法确定离子束溅射Ta_2O_5/SiO_2薄膜的光学常数及其性能".光学学报 34.5(2014):306-312.