磁控溅射-热处理两步法制备Cr_2AlC涂层及力学性能

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	磁控溅射-热处理两步法制备Cr_2AlC涂层及力学性能
	刘培 ; 王振玉 ; 柯培玲 ; 李晓伟 ; 吴晓春 ; 汪爱英
刊名	中国表面工程
	2016
卷号	29 期号:136 页码:64-72
关键词	直流磁控溅射 Cr2AlC涂层高温退火力学性能相结构
ISSN号	1007-9289
中文摘要	Cr_2AlC属于三元层状化合物MAX相,其兼具金属和陶瓷的综合性能,如金属的导热、导电、可加工性,陶瓷的抗氧化、耐腐蚀等性能。利用直流磁控溅射技术和后续退火工艺在高速钢基体上制备了Cr_2AlC涂层,采用XRD、SEM等研究了气体流量及热处理工艺对涂层成分和物相组成的影响。结果表明:气体流量和退火温度对Cr_2AlC相的形成至关重要,气体流量比过大和退火温度过高均不利于Cr_2AlC的形成。不同气体流量下沉积态涂层主要由Cr-C化合物、非晶或者纳米晶等组成,均没有发现Cr_2AlC相;涂层经750℃退火后不同气体流量比涂层均有一定量Cr_2AlC相形成;且Cr_2AlC相形成的温度范围随CH_4/Ar气体流量比增加而变窄。含Cr_2AlC MAX相涂层的硬度为10.6~17.6GPa,弹性模量为255.3~323.4GPa。
公开日期	2016-09-18
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/12089]
专题	宁波材料技术与工程研究所_2016专题
推荐引用方式 GB/T 7714	刘培,王振玉,柯培玲,等. 磁控溅射-热处理两步法制备Cr_2AlC涂层及力学性能[J]. 中国表面工程,2016,29(136):64-72.
APA	刘培,王振玉,柯培玲,李晓伟,吴晓春,&汪爱英.(2016).磁控溅射-热处理两步法制备Cr_2AlC涂层及力学性能.中国表面工程,29(136),64-72.
MLA	刘培,et al."磁控溅射-热处理两步法制备Cr_2AlC涂层及力学性能".中国表面工程 29.136(2016):64-72.