| 采用双模式激光气体击穿方式下的点火装置及方法 | |
| 林学春 ; 高文焱 ; 于海娟 ; 张玲 ; 邹淑珍 ; 张志研 ; 王奕博 ; 陈寒 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体所 |
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 公开日期 | 2016-09-22 |
| 申请日期 | 2015-08-24 |
| 专利申请号 | CN201510520845.8 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27473]  |
| 专题 | 半导体研究所_全固态光源实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林学春,高文焱,于海娟,等. 采用双模式激光气体击穿方式下的点火装置及方法. |
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