一种芯片外观缺陷检测系统 | |
李搏 ; 吴南健 ; 刘剑 ; 杨永兴 ; 杨杰 | |
专利国别 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院半导体所 |
学科主题 | 半导体物理 |
公开日期 | 2016-08-30 |
申请日期 | 2014-12-25 |
专利申请号 | CN201410827792.X |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27241] ![]() |
专题 | 半导体研究所_半导体超晶格国家重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李搏,吴南健,刘剑,等. 一种芯片外观缺陷检测系统. |
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