硅太阳电池用MgF2／ZnS双层减反射薄膜的制备及表征

	硅太阳电池用MgF2／ZnS双层减反射薄膜的制备及表征
	李海玲
刊名	人工晶体学报
	2009
卷号	38 期号:3 页码:547
通讯作者	李海玲
中文摘要	：采用真空热蒸发技术，制备出了性能优良的MgF ／ZnS双层减反射薄膜。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪对薄膜的形貌以及结晶形态进行分析，采用椭圆偏振仪测试薄膜的折射系数及厚度，利用反射谱对双层减反射薄膜的减反射性能进行了表征。研究表明：衬底温度为200 oC时薄膜附着力、结晶态良好；蒸发速率影响薄膜的表面形态；MgF：／ZnS厚度为1 10 nrn／35 nm时具有最佳减反射效果。
学科主题	半导体物理学
收录类别	4
公开日期	2010-09-29
附注	：采用真空热蒸发技术，制备出了性能优良的MgF ／ZnS双层减反射薄膜。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪对薄膜的形貌以及结晶形态进行分析，采用椭圆偏振仪测试薄膜的折射系数及厚度，利用反射谱对双层减反射薄膜的减反射性能进行了表征。研究表明：衬底温度为200 oC时薄膜附着力、结晶态良好；蒸发速率影响薄膜的表面形态；MgF：／ZnS厚度为1 10 nrn／35 nm时具有最佳减反射效果。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.iee.ac.cn/handle/311042/1654]
专题	电工研究所_太阳能电池技术研究组_太阳能电池技术研究组_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	李海玲. 硅太阳电池用MgF2／ZnS双层减反射薄膜的制备及表征[J]. 人工晶体学报,2009,38(3):547.
APA	李海玲.(2009).硅太阳电池用MgF2／ZnS双层减反射薄膜的制备及表征.人工晶体学报,38(3),547.
MLA	李海玲."硅太阳电池用MgF2／ZnS双层减反射薄膜的制备及表征".人工晶体学报 38.3(2009):547.