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题名	基于DSP的新型图形发生器主控制器的研究; 基于DSP的新型图形发生器主控制器的研究
作者	1郭颖,电工研究所
学位类别	硕士
答辩日期	2004
授予单位	中国科学院电工研究所
导师	1方光荣,电工研究所
关键词	电子束曝光机 图形发生器 数字信号处理器 通用串行总线 e-beam lithography pattern generator DSP USB
其他题名	基于DSP的新型图形发生器主控制器的研究
学位专业	电力电子与电气传动
中文摘要	电子束曝光机是目前微细加工领域极具前途的一种光刻手段，是纳米级图形加工的理想方式。图形发生器是电子束曝光机的关键部件，本论文针对现有的图形发生器存在的主要问题，借鉴了当今国内外电子束曝光机图形发生器的长处与不足，采用DSP芯片作为图形数据处理的核心单元，提出了一套功能完备的新型扫描电子束曝光机图形发生器的硬件设计方案。本论文分为五个章节主要介绍了电子束曝光技术的发展背景、图形发生器的工作原理与国内外现状、图形发生器的总体方案设计、图形发生器硬件电路设计（包括DSP数字信号处理电路、数据传输接口电路、存储器扩展电路、逻辑控制电路、标记检测控制电路、曝光控制电路和束闸控制电路）、电路调试与验证、CPLD控制软件设计与仿真等。本方案具有数据处理能力强、运算速度快、接口方便等优点，克服了传统图形发生器单纯依靠软件完成，速度慢，精度低，工作不稳定的缺点。目前图形发生器硬件设计工作已基本完成。并通过调试成功的实现了DSP引导装载、存储器读写、接口数据传输与片上器件的逻辑控制等功能。 Electron beam lithography (EBL) is widely used for the fabrication of devices with sub-micron and nano-meter dimensions. As the key part, Pattern generator plays an important role in the system. In order to improve pattern accuracy and reduce exposure time, we developed a new kind of pattern generator. In this thesis, a versatile DSP-based pattern generator for e-beam lithography system is presented. We chose DSP as the key part of the pattern generator. Making good use of the parallel design of algorithm and multi data stream, the reasonable assignment and schedule of tasks and the permissible effective program design, we fulfilled the real-time digital signal processing of pattern generator. According to the requirement of different function and performance, we formed the system with a certain hardware configuration, including interface unit, memory extension unit, mark signal detection control unit, expose control unit, e-beam blanker control unit. The module has the advantages of flexible configuration, high programmable ability and expansibility.
语种	中文
公开日期	2010-10-18
页码	67
内容类型	学位论文
源URL	[http://ir.iee.ac.cn/handle/311042/7361]
专题	电工研究所_其他部门_其他部门_硕士学位论文
推荐引用方式 GB/T 7714	1郭颖,电工研究所. 基于DSP的新型图形发生器主控制器的研究, 基于DSP的新型图形发生器主控制器的研究[D]. 中国科学院电工研究所. 2004.

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