| 题名 | 基于DSP的图形发生器系统的曝光软件研究; 基于DSP的图形发生器系统的曝光软件研究 |
| 作者 | 1杨浩伟,电工研究所 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2004 |
| 授予单位 | 中国科学院电工研究所 |
| 导师 | 1薛虹,电工研究所 |
| 关键词 | 电子束曝光机 图形发生器 数字信号处理器 通用串行总线 软件 Electron Beam Lithography Pattern Generator DSP chip USB Software |
| 其他题名 | 基于DSP的图形发生器系统的曝光软件研究 |
| 学位专业 | 高电压与绝缘技术 |
| 中文摘要 | 本论文主要介绍了图形发生器软件系统中，涉及曝光功能的软件部分的研究。论文分析了国内外电子束曝光技术的发展和图形发生器的工作原理。针对现有图形发生器存在的问题，对TI公司的TMS320VC33功能进和系统软件的开发进行分析，将以DSP芯片为核心的新型图形发生器的曝光软件系统分成两部分：上位机与下位机，分别进行开发。第一部分是上位机-PC机上的系统程序。在借鉴CIF、GDSII等文件格式的基础上，论文首先完成了曝光机系统文件的定义：图形处理格式、曝光文件存储格式和曝光文件发送格式。论文比较和论证了几种计算机接口，最终选择USB2.0作为上位机与下位机之间文件传输接口，并为其编写了驱动程序及能够完成设计功能的简单的客户端程序。第二部分是下位机-DSP上的单元图形曝光算法。论文在分析前人工作的基础上，提出了新的单元图形生成算法。该方法通过利用DSP出众的计算功能，将各种图形的计算尽可能转化为加、减、乘法，在经过修正设计后可以做出令人满意的图形。这种算法应用于以DSP芯片为基础的电子束曝光机图形发生器，简化了数据处理过程并提高了图形绘制速度和图形精度，具有不输于Bresenham算法的效率。本论文从图形发生器的软件部分入手，研究了图形发生器的结构和工作原理。系统的曝光控制程序和单元图形生成算法的研究和实现是本论文的核心内容。 In this thesis, the software in terms of exposure is mainly discussed with the whole software system presented. This paper introduces the development of electron beam lithography around the world and basic fundamentals of pattern generator. Further analysis and research to both TI's TMS320VC33 DSP chip and development of software is given according to the existing problem of pattern generator. Besides that, the software system in the novel type of pattern generator which use DSP chip as CPU is divided into two parts to study: the upper and the lower. The first part is the software locating on the upper, the PC. The paper finished the definition of the files, PPF, EDF and the format of data transmitted, based on the formats of CIF, GDSII etc. After comparison with several other interfaces, the USB2.0 is chosen as the one for the upper and the lower and proved that it worked well with the system driver and the program 1 fulfilled the basic function. 1 The second part is the algorithm of cells locating on the DSP, the lower. The new algorithm is proposed based on the study of formers' work. The algorithm is realized by trying to turn the operations into plus, minus and multiplication and amending in someway. The result proved to be satisfied. This algorithm not only fits the performance of hardware such as DSP chips but improves the generation speed and precision of primitives as well with the efficiency comparable with Bresenham. This thesis focuses on the software part of pattern generator and analyses its structures and fundamentals. And the research of the exposure control program and the algorithm of cells are the core part of this thesis. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-10-18 |
| 页码 | 68 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.iee.ac.cn/handle/311042/7357]  |
| 专题 | 电工研究所_其他部门_其他部门_硕士学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 1杨浩伟,电工研究所. 基于DSP的图形发生器系统的曝光软件研究, 基于DSP的图形发生器系统的曝光软件研究[D]. 中国科学院电工研究所. 2004. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论