| 题名 | 大扫描范围原子力显微镜的研制; 大扫描范围原子力显微镜的研制 |
| 作者 | 1原剑,电工研究所 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2006-05-26 |
| 授予单位 | 中国科学院电工研究所 |
| 导师 | 1韩立,电工研究所 |
| 关键词 | 原子力显微镜 大扫描范围 扫描探头 压电陶瓷堆 |
| 其他题名 | 大扫描范围原子力显微镜的研制 |
| 中文摘要 | 原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM）是在微纳米尺度进行科学研究时普遍使用的一种测量仪器。普通国产原子力显微镜使用压电扫描管扫描样品，因而扫描范围偏小，不能很好的满足国内生物学研究的需求。针对这一现状，本课题基于NSPM6800型国产原子力显微镜，提供了一种大扫描范围原子力显微镜实验仪器的设计和制作方法。 研究原子力显微镜相关的基本理论，可以发现扩大扫描范围的方法关键在于两点：一是提高压电扫描器的性能，二是调整扫描探头的结构。针对这两点，本课题深入分析了国际上典型原子力显微镜产品及NSPM6800扫描探头部分的结构，提出了扩大NSPM6800扫描范围的总体设计方案：在扫描器性能改进方面，采用堆形结构的压电扫描器；在探头结构改善方面，分离XY与Z向压电扫描器，并重新设计了微偏转激光检测机构。 这一研究工作的重点在于设计并制作新型扫描探头，难点在于设计时要综合考虑激光器、反射镜、扫描探针、光电位置检测器、压电扫描器、位移平台、信号放大电路等各种要素。 本课题用自行设计制作的扫描探头，结合NSPM6800的软硬件控制系统，搭建了一套新型的原子力显微镜实验仪器。为了验证预期的设计目标，本课题选用标准光栅样品进行了扫描实验，并成功获得了大范围（100μm×100μm）以上的扫描图像。 本文的研究工作得到了国家自然基金项目“纳米分辨率活细胞扫描探针原位实时显微观测系统的研究”的支持。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-10-18 |
| 页码 | 55 |
| 分类号 | TH742.9 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.iee.ac.cn/handle/311042/6923]  |
| 专题 | 电工研究所_其他部门_其他部门_硕士学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 1原剑,电工研究所. 大扫描范围原子力显微镜的研制, 大扫描范围原子力显微镜的研制[D]. 中国科学院电工研究所. 2006. |
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