| 题名 | 电子束曝光机对准软件研究; 电子束曝光机对准软件研究 |
| 作者 | 1张今朝,电工研究所 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2006-06-08 |
| 授予单位 | 中国科学院电工研究所 |
| 导师 | 1顾文琪,电工研究所 |
| 关键词 | 电子束曝光机 对准软件 标记自动识别 扫描场校正 工件台校正 |
| 其他题名 | 电子束曝光机对准软件研究 |
| 中文摘要 | 本论文论述了一套实用化曝光机对准软件的设计方案。此对准软件是针对以SEM为基础的电子束曝光系统开发的，整个系统包括电子光学系统、图形发生器和精密激光工件台。 本文详细介绍了软件的系统设计、文件和协议设计、算法设计。该软件使用MFC(Microsoft Foundation Classes)实现编码，采用标准Windows界面，设置和操作方便，对用户非常友好。软件最后通过曝光实验验证，初步达到了实用化要求。 软件设计成八大功能模块：扫描场图像、标记场管理、校正扫描场、工件台控制、工件台校正、电镜控制、曝光控制和管理。各功能模块以子窗口形式表现，子窗口间通过自定义消息、宏等结构联系，实现复杂的对准功能。 本文提出了十字标记自动识别算法。该算法能够以线扫的方式获取标记的边界和中心，从而实现标记中心位置的自动识别，是扫描场自动校正的核心算法。 本文提出了标记场组的数据结构和扫描宏的执行方法，两者配合实现了扫描场手动校正、单标记和多标记扫描场自动校正。 本文提出了工件台校正的概念和实现算法，将硅片坐标系和工件台坐标系统一起来，为标记和曝光位置的确定提供方便，为套刻曝光操作提供了精度保证。 本文创建了EDF曝光数据文件格式，以二进制的形式存储经过分割的曝光图形，其基本图元可被图形发生器硬件识别，为版图在图形分割和向下位机传输数据之间确立了标准的中间格式，有利于这两部分功能的独立开发。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-10-18 |
| 页码 | 98 |
| 分类号 | TM1 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.iee.ac.cn/handle/311042/6901]  |
| 专题 | 电工研究所_其他部门_其他部门_硕士学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 1张今朝,电工研究所. 电子束曝光机对准软件研究, 电子束曝光机对准软件研究[D]. 中国科学院电工研究所. 2006. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论