| 题名 | 纳米压印技术研究及应用; 纳米压印技术研究及应用 |
| 作者 | 1董晓文,电工研究所 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2008-01-08 |
| 授予单位 | 中国科学院电工研究所 |
| 导师 | 1顾文琪,电工研究所 |
| 关键词 | 纳米压印技术 热压印技术 紫外压印技术 纳米结构制备 微型燃料电池 导流板 nano-imprint hot embossing UV-nanoimprinting lithography nano structure fabrication micro fuel cell flow field plate |
| 其他题名 | 纳米压印技术研究及应用 |
| 中文摘要 | 纳米压印技术通过压模的方法实现纳米结构的批量复制，具有操作简单、分辨率高、重复性好、费时少、成本费用极低的优点，是一种具有广泛应用前景的纳米级微细加工技术。它不仅突破了传统光学光刻工艺的分辨率极限，而且具有大批量重复地在大面积上制备纳米图形结构的能力，这为今后纳米结构的开发应用提供了良好的条件。 本论文对纳米压印技术进行了系统的理论分析和实验研究，自主开发研制了NIL－01型热压印设备和UVNIL－01型紫外压印设备。它们具有制造成本低廉、可靠实用、操作方便的特点，可在4英寸直径的工件上制作最小特征尺寸小于100nm的微细图形结构，亦可满足研究纳米结构与器件的科研人员的需求，如制备各种纳米电子器件、光学器件、存储器、微流体通道、生物芯片等。其中，UVNIL－01型紫外压印设备在设计中采用了气囊气缸复合找平装置，提高了大面积压印时的压印精度和成品率。利用所研发的压印设备，制备了燃料电池导流板，并且应用于微型燃料电池获得成功，实验结果表明纳米压印技术大大降低了微型燃料电池的制造成本和难度，有利于促进微型燃料电池的产业化和小型化。 Nano-imprint lithography (NIL) is an easy operation, high repetition, low man-hour, high resolution, high throughput, low-cost, large-area compatible lithography technology that patterns a polymer film on a substrate by deforming it with a mold, which will play an important role in future development and manufacturing of nanostructures. On the other hand, nanoimprint lithography can fabricate nanometer structure which is smaller than 70 nm conveniently, as well as inheriting parallelity of conventional photo-lithography. In this dissertation, based on theoretical research of NIL, NIL-01 hot embossing equipment and UVNIL-01 UV-Nanoimprint equipment were developed. They possess the advantages of low cost and good operation, and can fabricate sub-100 nm micro/nano structures on 4-inch wafer. Therefore, they can satisfy the need of manufacture of nano devices such as nano optoelectronic devices, nano magnetic memory devices, micro fluidic devices. Based on the analyses of the structure and features of several parallel adjustment devices in nanoimprint lithography, a new device of bellows cylinder for parallelism was designed. We have conducted a lot of imprint experiments using the homemade equipments, and fabricated the flowfield plate of micro fuel cell. The results of experiments prove that NIL can push the industrialization and miniaturization of micro fuel cell. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-10-18 |
| 页码 | 141 |
| 分类号 | TM1 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.iee.ac.cn/handle/311042/6748]  |
| 专题 | 电工研究所_其他部门_其他部门_博士学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 1董晓文,电工研究所. 纳米压印技术研究及应用, 纳米压印技术研究及应用[D]. 中国科学院电工研究所. 2008. |
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