基于压电陶瓷的新型尺蠖式微位移器的设计

	基于压电陶瓷的新型尺蠖式微位移器的设计; Design of Inchworm Type Micro Displacement Actuator Based Piezoelectric Ceramics
	刘俊标
刊名	现代科学仪器
	2010
其他题名	Design of Inchworm Type Micro Displacement Actuator Based Piezoelectric Ceramics
通讯作者	刘俊标
学科主题	信息与系统科学相关工程与技术
收录类别	9
公开日期	2010-09-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.iee.ac.cn/handle/311042/1111]
专题	电工研究所_电子束曝光技术研究组_电子束曝光技术研究组_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	刘俊标. 基于压电陶瓷的新型尺蠖式微位移器的设计, Design of Inchworm Type Micro Displacement Actuator Based Piezoelectric Ceramics[J]. 现代科学仪器,2010.
APA	刘俊标.(2010).基于压电陶瓷的新型尺蠖式微位移器的设计.现代科学仪器.
MLA	刘俊标."基于压电陶瓷的新型尺蠖式微位移器的设计".现代科学仪器 (2010).