基于压电陶瓷的新型尺蠖式微位移器的设计; Design of Inchworm Type Micro Displacement Actuator Based Piezoelectric Ceramics | |
刘俊标 | |
刊名 | 现代科学仪器
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2010 | |
其他题名 | Design of Inchworm Type Micro Displacement Actuator Based Piezoelectric Ceramics |
通讯作者 | 刘俊标 |
学科主题 | 信息与系统科学相关工程与技术 |
收录类别 | 9 |
公开日期 | 2010-09-29 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.iee.ac.cn/handle/311042/1111] ![]() |
专题 | 电工研究所_电子束曝光技术研究组_电子束曝光技术研究组_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘俊标. 基于压电陶瓷的新型尺蠖式微位移器的设计, Design of Inchworm Type Micro Displacement Actuator Based Piezoelectric Ceramics[J]. 现代科学仪器,2010. |
APA | 刘俊标.(2010).基于压电陶瓷的新型尺蠖式微位移器的设计.现代科学仪器. |
MLA | 刘俊标."基于压电陶瓷的新型尺蠖式微位移器的设计".现代科学仪器 (2010). |
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