| 题名 | 基于MEMS及芯片集成技术的三维电场传感器研究 |
| 作者 | 方奕庚 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2016-05-22 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 夏善红 |
| 关键词 | MEMS 三维 电场传感器 电场探测 芯片集成 柔性折叠 对称电极 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科主题 | 传感器 |
| 公开日期 | 2016-06-02 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/10727]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 方奕庚. 基于MEMS及芯片集成技术的三维电场传感器研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2016. |
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