| 题名 | 微波等离子体基本特性及其在CVD法沉积金刚石簿膜中的应用研究 |
| 作者 | 俞辉 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1987 |
| 授予单位 | 中国科学院电子学研究所 |
| 授予地点 | 中国科学院电子学研究所 |
| 导师 | 柯锦松 |
| 学位专业 | 微波等离子体 |
| 中文摘要 | 本文利用两种工作于2.45GHz的微波放电腔，在输入功率0-1.5kw、气压范围为0.1～200 Torr内，测量了Ar、O_2、Air、H_2等气体等离子体对微波功率的吸收，并用双探针法测量了其中的电子温度和浓度，从理论上分析了实验结果，并近似计算了电子浓度随气压、功率的变化。结果表明，吸收效率在很宽的气压、功率范围可达95%以上，电子温度在10~(10)-10~(12) cm~(-3)之间变化。另外利用微波等离子体化学气相沉积法，用H_2稀释的CH_4进行了沉积金刚石膜的实验，通过SEM和RHEED的分析结果表明：在气压为20-40 Toor，流量为30-60 SCCM， CH _4混合比为0.5-1 Vol%、输入功率为300-500 W 范围内为形成金刚石膜的最佳条件，并给出在其它条件下的结果。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-07-19 |
| 页码 | 72 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/9241]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 俞辉. 微波等离子体基本特性及其在CVD法沉积金刚石簿膜中的应用研究[D]. 中国科学院电子学研究所. 中国科学院电子学研究所. 1987. |
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