| 题名 | 具有量子效应的无结硅纳米线晶体管研究 |
| 作者 | 马刘红 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2016-05-28 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 杨富华 ; 韩伟华 |
| 关键词 | 无结纳米线晶体管 量子输运 电离杂质 低温 界面陷阱 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科主题 | 微电子学 |
| 公开日期 | 2016-06-02 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27172]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马刘红. 具有量子效应的无结硅纳米线晶体管研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2016. |
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