电容式边缘传感器的设计

	电容式边缘传感器的设计
	郑艳芳; 许骏; 李雪宝
刊名	现代电子技术
	2011-01
卷号	34 期号:2 页码:119-122
关键词	电容测微边缘传感器信号调理 AD8302 相位检测
ISSN号	1004-373X
产权排序	第一完成单位
中文摘要	电容测微方法能够检测到微小的位移变化,在此利用电容测微法设计制作电容式边缘传感器,该传感器可以用来检测拼接在一起或者相互平行的两平板之间的位置变化。给出了电容式边缘传感器的设计原理,传感器的主要结构以及设计过程中遇到的问题和解决方案。并在实验室进行了验证,给出了实验结果。实验结果换算到位移变化达到了检测到小于5 nm的位置变化的科研目标。该传感器可以广泛应用于拼接望远镜,法珀等天文仪器控制领域和其他工业控制领域。
学科主题	天文学
分类号	TP212
收录类别	其他
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ynao.ac.cn/handle/114a53/4786]
专题	云南天文台_抚仙湖太阳观测站
推荐引用方式 GB/T 7714	郑艳芳,许骏,李雪宝. 电容式边缘传感器的设计[J]. 现代电子技术,2011,34(2):119-122.
APA	郑艳芳,许骏,&李雪宝.(2011).电容式边缘传感器的设计.现代电子技术,34(2),119-122.
MLA	郑艳芳,et al."电容式边缘传感器的设计".现代电子技术 34.2(2011):119-122.