碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法 | |
王晋峰; 王烨儒 | |
2015-06-23 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | 暂无 |
专利类型 | 发明 |
中文摘要 | 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法,其特征在于,步骤如下:⑴.真空蒸镀材料膜厚分布的确定;⑵.蒸镀非球面膜厚分布的推导;⑶.掩膜板形状的确定;⑷.在设置好步骤⑶确定的掩膜板以后,利用真空蒸发镀膜技术蒸镀改性材料到碳化硅起始球面之上,以实现碳化硅非球面的初步成型;⑸.对致密改性层进行光学精密抛光,最终得到改性后的碳化硅非球面反射镜。本发明可用于大口径非球面的加工,蒸镀材料可以根据光学元件的性质进行选择。由于在碳化硅非球面成型与改性后还要进行光学精密抛光,因此可以获得高精度低粗糙度的碳化硅非球面元件。 |
学科主题 | 天文技术与方法 |
公开日期 | 2015-10-28 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1240] ![]() |
专题 | 南京天文光学技术研究所_中科院南京天光所知识成果_专利 南京天文光学技术研究所_大口径光学技术研究室_专利 |
作者单位 | 南京天文光学技术研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晋峰,王烨儒. 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法. 暂无. 2015-06-23. |
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