微波等原子体化学气相沉积金刚石-石墨复合薄膜及其摩擦学性能研究

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	微波等原子体化学气相沉积金刚石-石墨复合薄膜及其摩擦学性能研究
	田清泉 ; 黄楠 ; 杨兵 ; 郭宇宁 ; 庄昊 ; 刘鲁生 ; 姜辛
	2015-08-21
关键词	复合薄膜复合结构磨损率石墨相柱状晶晶粒尺寸甲烷浓度化学气相沉积摩擦磨损试验机拉曼光谱
中文摘要	利用微波等原子体增强气相沉积技术生长金刚石-石墨复合薄膜,通过扫描电子显微镜、XRD、拉曼光谱和透射电子显微镜分析复合薄膜的微观组织结构和化学成分。结果表明:当甲烷浓度较低时(1~5 at.%),薄膜具有典型的柱状晶结构,柱状晶面主要为(111),金刚石相纯度较高,非金刚石相含量较低。晶粒尺寸大小约为几个微米,薄膜厚度2~3μm;当甲烷浓度增大时(6 at.%),薄膜中金刚石相纯度降低,非金刚石相含量增大,薄膜中晶粒尺寸急剧减小,典型的柱状晶结构消失,主要为纳米晶,晶部分晶粒呈棒状结构。随着甲烷浓度进一步增大到7 at.%,拉曼结果表明薄膜中非金刚石碳含量急剧增大,形成金刚石-石墨复合结构。通...
会议录	TFC'15全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/74572]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	田清泉,黄楠,杨兵,等. 微波等原子体化学气相沉积金刚石-石墨复合薄膜及其摩擦学性能研究[C]. 见:.