Co-Si多层膜的透射电镜研究

	Co-Si多层膜的透射电镜研究
	顾诠 ; 何杰 ; 钱家俊 ; 陈维德 ; 许振嘉
刊名	半导体学报
	1993
卷号	14 期号:12 页码:738
学科主题	半导体材料
收录类别	CSCD
资助信息	国家自然科学基金
语种	中文
公开日期	2010-11-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20095]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	顾诠,何杰,钱家俊,等. Co-Si多层膜的透射电镜研究[J]. 半导体学报,1993,14(12):738.
APA	顾诠,何杰,钱家俊,陈维德,&许振嘉.(1993).Co-Si多层膜的透射电镜研究.半导体学报,14(12),738.
MLA	顾诠,et al."Co-Si多层膜的透射电镜研究".半导体学报 14.12(1993):738.