热释电薄膜红外焦平面探测器芯片及其制作方法 | |
朱煜; 褚君浩; 张耀辉![]() ![]() | |
2015-09-09 | |
专利号 | CN103346250B |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
申请日期 | 2013-07-05 |
专利申请号 | 201310281825.0 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/3216] ![]() |
专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_系统集成与IC设计部_张耀辉团队 |
作者单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱煜,褚君浩,张耀辉,等. 热释电薄膜红外焦平面探测器芯片及其制作方法. CN103346250B. 2015-09-09. |
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