| 一种微型电容式力学传感器及其制备方法 | |
| 张珽 ; 刘瑞 | |
| 2014-09-03 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | 102589760A |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院 |
| 中文摘要 | 本发明公开了一种微型电容式力学传感器及其制备方法，属于微机电系统领域。该微型电容式力学传感器包括衬底、导电支撑柱、固定电极、固态介电层、可动电极和弹性导电支撑结构。固定电极和导电支撑柱固置于衬底上，固态介电层设置于固定电极上，可动电极通过导电支撑柱的支撑保持悬空，固态介电层与可动电极之间的悬空区域形成空气介电层。本发明采用固态介电层与空气介电层复合的双介电层结构，可以通过调节微型电容值的变化范围，适用于不同领域的测量，具有灵敏度高，动态性能好，能量损耗小，制备成本低的特点，并且能够适应较为恶劣的环境。 |
| 公开日期 | 2014-11-27 |
| 申请日期 | 2012-02-27 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 201210044921.9 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/1576]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_纳米研究国际实验室_张珽团队 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张珽,刘瑞. 一种微型电容式力学传感器及其制备方法. 102589760A. 2014-09-03. |
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