一种微型电容式力学传感器及其制备方法 | |
张珽 ; 刘瑞 | |
2014-09-03 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | 102589760A |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院 |
中文摘要 | 本发明公开了一种微型电容式力学传感器及其制备方法,属于微机电系统领域。该微型电容式力学传感器包括衬底、导电支撑柱、固定电极、固态介电层、可动电极和弹性导电支撑结构。固定电极和导电支撑柱固置于衬底上,固态介电层设置于固定电极上,可动电极通过导电支撑柱的支撑保持悬空,固态介电层与可动电极之间的悬空区域形成空气介电层。本发明采用固态介电层与空气介电层复合的双介电层结构,可以通过调节微型电容值的变化范围,适用于不同领域的测量,具有灵敏度高,动态性能好,能量损耗小,制备成本低的特点,并且能够适应较为恶劣的环境。 |
公开日期 | 2014-11-27 |
申请日期 | 2012-02-27 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | 201210044921.9 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/1576] ![]() |
专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_纳米研究国际实验室_张珽团队 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张珽,刘瑞. 一种微型电容式力学传感器及其制备方法. 102589760A. 2014-09-03. |
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