微波太赫兹波探测器及其制备方法

	微波太赫兹波探测器及其制备方法
	蒋春萍
	2014-09-03
专利国别	中国
专利号	102593235A
专利类型	发明
权利人	中国科学院
中文摘要	本发明揭示了一种微波太赫兹波探测器及其制备方法，以高电子迁移率晶体管为基本结构，该探测器在有源区的台面设有背栅和至少一个长度介于1μm至1mm的条状结构，条状结构中设有呈凹型结构或带指状的正栅，条状结构的两端形成与二维电子气通道欧姆接触的电极，且凹型结构凹处或指与电极的间距为0.5μm至500μm，其中所述背栅刻蚀深度为直达衬底。并且本发明提出了完整而可行的该种探测器制备方法。应用本发明的技术方案，较之于传统的探测器系统的显著优点为：能够无需依赖任何光学元件辅助，即可实现对微波-太赫兹波辐射的功率响应和频率响应，为降低探测器系统复杂程度、减少成本提供了一种切实保障。
公开日期	2014-11-27
申请日期	2012-03-19
语种	中文
专利申请号	201210073157.8
专利代理	南京苏科专利代理有限责任公司 32102
内容类型	专利
源URL	[http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/1575]
专题	苏州纳米技术与纳米仿生研究所_纳米器件及相关材料研究部_蒋春萍团队
推荐引用方式 GB/T 7714	蒋春萍. 微波太赫兹波探测器及其制备方法. 102593235A. 2014-09-03.