SOI集成光电子器件

	SOI集成光电子器件
	魏红振 ; 余金中 ; 张小峰 ; 刘忠立 ; 史伟 ; 房昌水
刊名	半导体光电
	2001
卷号	22 期号:1 页码:7
中文摘要	Silicon-on-insulator (SOI)集成光电子器件的工艺与标准CMOS工艺完全兼容，采用SOI技术可以实现低成本的整片集成光电子回路。文章回顾了近几年来SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展。
学科主题	半导体器件
收录类别	CSCD
资助信息	国家自然科学基金
语种	中文
公开日期	2010-11-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18979]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	魏红振,余金中,张小峰,等. SOI集成光电子器件[J]. 半导体光电,2001,22(1):7.
APA	魏红振,余金中,张小峰,刘忠立,史伟,&房昌水.(2001).SOI集成光电子器件.半导体光电,22(1),7.
MLA	魏红振,et al."SOI集成光电子器件".半导体光电 22.1(2001):7.