SOI集成光电子器件 | |
魏红振 ; 余金中 ; 张小峰 ; 刘忠立 ; 史伟 ; 房昌水 | |
刊名 | 半导体光电
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2001 | |
卷号 | 22期号:1页码:7 |
中文摘要 | Silicon-on-insulator (SOI)集成光电子器件的工艺与标准CMOS工艺完全兼容,采用SOI技术可以实现低成本的整片集成光电子回路。文章回顾了近几年来SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展。 |
学科主题 | 半导体器件 |
收录类别 | CSCD |
资助信息 | 国家自然科学基金 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2010-11-23 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18979] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 魏红振,余金中,张小峰,等. SOI集成光电子器件[J]. 半导体光电,2001,22(1):7. |
APA | 魏红振,余金中,张小峰,刘忠立,史伟,&房昌水.(2001).SOI集成光电子器件.半导体光电,22(1),7. |
MLA | 魏红振,et al."SOI集成光电子器件".半导体光电 22.1(2001):7. |
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