一种微机械光开关的分析和设计(英文) | |
陈良惠![]() | |
刊名 | 半导体学报
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2001 | |
卷号 | 22期号:7页码:837 |
中文摘要 | 对悬臂梁微机械光开关的机电特性进行了理论分析。利用机械和电学特性,导出了悬臂梁的弯曲量和所加的电压的解析关系,并给出阈值电压的计算公式。指出外加电压与梁的宽度无关,与梁的长度的平方成反比。悬臂梁尖端的弯曲量不能超出相邻电极间距的1/3。这些结论是悬臂梁微机械光开关设计和研制的直接依据。 |
英文摘要 | 对悬臂梁微机械光开关的机电特性进行了理论分析。利用机械和电学特性,导出了悬臂梁的弯曲量和所加的电压的解析关系,并给出阈值电压的计算公式。指出外加电压与梁的宽度无关,与梁的长度的平方成反比。悬臂梁尖端的弯曲量不能超出相邻电极间距的1/3。这些结论是悬臂梁微机械光开关设计和研制的直接依据。; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:10:26导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:10:26Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5379.pdf: 209345 bytes, checksum: 8cd49ba4f3f0475d3266db376b3aa003 (MD5) Previous issue date: 2001; 中科院半导体所 |
学科主题 | 光电子学 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2010-11-23 ; 2011-04-29 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18663] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈良惠. 一种微机械光开关的分析和设计(英文)[J]. 半导体学报,2001,22(7):837. |
APA | 陈良惠.(2001).一种微机械光开关的分析和设计(英文).半导体学报,22(7),837. |
MLA | 陈良惠."一种微机械光开关的分析和设计(英文)".半导体学报 22.7(2001):837. |
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