一种微机械光开关的分析和设计（英文）

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	一种微机械光开关的分析和设计（英文）
	陈良惠
刊名	半导体学报
	2001
卷号	22 期号:7 页码:837
中文摘要	对悬臂梁微机械光开关的机电特性进行了理论分析。利用机械和电学特性，导出了悬臂梁的弯曲量和所加的电压的解析关系，并给出阈值电压的计算公式。指出外加电压与梁的宽度无关，与梁的长度的平方成反比。悬臂梁尖端的弯曲量不能超出相邻电极间距的1/3。这些结论是悬臂梁微机械光开关设计和研制的直接依据。
英文摘要	对悬臂梁微机械光开关的机电特性进行了理论分析。利用机械和电学特性，导出了悬臂梁的弯曲量和所加的电压的解析关系，并给出阈值电压的计算公式。指出外加电压与梁的宽度无关，与梁的长度的平方成反比。悬臂梁尖端的弯曲量不能超出相邻电极间距的1/3。这些结论是悬臂梁微机械光开关设计和研制的直接依据。; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:10:26导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:10:26Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5379.pdf: 209345 bytes, checksum: 8cd49ba4f3f0475d3266db376b3aa003 (MD5) Previous issue date: 2001; 中科院半导体所
学科主题	光电子学
收录类别	CSCD
语种	中文
公开日期	2010-11-23 ; 2011-04-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18663]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	陈良惠. 一种微机械光开关的分析和设计（英文）[J]. 半导体学报,2001,22(7):837.
APA	陈良惠.(2001).一种微机械光开关的分析和设计（英文）.半导体学报,22(7),837.
MLA	陈良惠."一种微机械光开关的分析和设计（英文）".半导体学报 22.7(2001):837.