Fabrication of 3D-Si Pixel Sensor with Single Type Column Electrode

	Fabrication of 3D-Si Pixel Sensor with Single Type Column Electrode
	Ming X(明希); Yin HX(殷华湘); Meng LK(孟令款); Li JJ(李俊杰); Jia YC(贾云丛); Li ZJ(李贞杰); Yuan F(袁烽); Jiang XS(江晓山); 刘鹏(多); Chen DP(陈大鹏)
刊名	半导体光电
	2015
卷号	36 期号:2 页码:197-201
其他题名	单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究
公开日期	2016-05-03
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/229129]
专题	高能物理研究所_多学科研究中心高能物理研究所_实验物理中心
推荐引用方式 GB/T 7714	Ming X,Yin HX,Meng LK,et al. Fabrication of 3D-Si Pixel Sensor with Single Type Column Electrode[J]. 半导体光电,2015,36(2):197-201.
APA	明希.,殷华湘.,孟令款.,李俊杰.,贾云丛.,...&陈大鹏.(2015).Fabrication of 3D-Si Pixel Sensor with Single Type Column Electrode.半导体光电,36(2),197-201.
MLA	明希,et al."Fabrication of 3D-Si Pixel Sensor with Single Type Column Electrode".半导体光电 36.2(2015):197-201.