与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计

	与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计
	毛陆虹 ; 陈弘达 ; 吴荣汉 ; 唐君 ; 梁琨 ; 粘华 ; 郭维廉 ; 李树荣 ; 吴霞宛
刊名	半导体学报
	2002
卷号	23 期号:2 页码:193-197
中文摘要	用器件模拟的方法，设计了一种与常规CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器，该探测器可与CMOS接收机电路单片集成，对该探测器进行了器件模拟研究，给出了该探测器的电路模型。通过MOSIS（MOS implementation support project）0.35 μm COMS工艺制做了该探测器，实际测试了该器件的频率响应和波长响应，探测器频率响应在1GH以上，峰值波长响应在0.69 μm。
学科主题	光电子学
收录类别	CSCD
资助信息	国家自然科学基金资助项目（批准号
语种	中文
公开日期	2010-11-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18111]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	毛陆虹,陈弘达,吴荣汉,等. 与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计[J]. 半导体学报,2002,23(2):193-197.
APA	毛陆虹.,陈弘达.,吴荣汉.,唐君.,梁琨.,...&吴霞宛.(2002).与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计.半导体学报,23(2),193-197.
MLA	毛陆虹,et al."与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计".半导体学报 23.2(2002):193-197.