基于二维表面等离子体激元的微结构

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	基于二维表面等离子体激元的微结构
	章蓓 ; 栾峰 ; 徐军 ; 金艳波 ; 徐万劲 ; 张会珍 ; 钱怡 ; 马骁宇 ; 朱恪 ; 刘玉龙
刊名	固体电子学研究与进展
	2002
卷号	22 期号:4 页码:476-478
中文摘要	在介电常数符号相反的两个材料的界面处可激发出表面等离子体激元（Surface plasmon)。文中利用普通扫描电子显微镜中出现的电子束诱导沉积纳米碳基本现象，提出和发展了一种无需光刻胶和额外掩模的亚微米图形化技术。采用这一新方法，成功地在镀金的半导体InGaAlP量子阱表面制备了各种亚微米点阵结构，并得到基于二维表面等离子体激元的可见波段半导体发光的增强作用。
学科主题	半导体器件
收录类别	CSCD
资助信息	国家自然科学基金项目6989626 ，6 77 22,集成光电子国家重点实验室,中科院物理所光物理实验室开放课题资助
语种	中文
公开日期	2010-11-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17927]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	章蓓,栾峰,徐军,等. 基于二维表面等离子体激元的微结构[J]. 固体电子学研究与进展,2002,22(4):476-478.
APA	章蓓.,栾峰.,徐军.,金艳波.,徐万劲.,...&刘玉龙.(2002).基于二维表面等离子体激元的微结构.固体电子学研究与进展,22(4),476-478.
MLA	章蓓,et al."基于二维表面等离子体激元的微结构".固体电子学研究与进展 22.4(2002):476-478.