倒装焊组装的光电混合集成RCE探测器面阵 | |
裴为华![]() | |
刊名 | 光电子·激光
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2003 | |
卷号 | 14期号:9页码:893-896 |
中文摘要 | 报道了一种可用于并行光传输系统的64 * 64光探测器面阵。器件结构采用谐振腔增强型(RCE),吸收区由3层InGaAs/GaAs量子阱构成,谐振腔是由2组多层布拉格反射镜组成,工作波长位于980 nm。该器件利用倒装焊技术,将GaAs基的谐振腔增强型光探测器面阵与相应的Si基标准CMOS集成电路混合集成在一起,形成具备64 * 64路光并行接收及处理的大规模光电集成探测器面阵器件,并对光探测器面阵的主要特性进行了测试,测试结构显示该面阵具有均匀的电特性,反向偏压均大于14 V,暗电流约为10 nA数量级。 |
英文摘要 | 报道了一种可用于并行光传输系统的64 * 64光探测器面阵。器件结构采用谐振腔增强型(RCE),吸收区由3层InGaAs/GaAs量子阱构成,谐振腔是由2组多层布拉格反射镜组成,工作波长位于980 nm。该器件利用倒装焊技术,将GaAs基的谐振腔增强型光探测器面阵与相应的Si基标准CMOS集成电路混合集成在一起,形成具备64 * 64路光并行接收及处理的大规模光电集成探测器面阵器件,并对光探测器面阵的主要特性进行了测试,测试结构显示该面阵具有均匀的电特性,反向偏压均大于14 V,暗电流约为10 nA数量级。; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:07:20导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:07:20Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4926.pdf: 257043 bytes, checksum: df7eea58e15cca279e049d0de19aa330 (MD5) Previous issue date: 2003; 国家自然科学重大资助项目(96989626 ),国家自然科学基金重点资助项目(697898 2),国家“863”高技术资助项目(2 1AA312 8 ,2 2AA31224 ,2 1AA122 32); 中国科学院半导体研究所 |
学科主题 | 光电子学 |
收录类别 | CSCD |
资助信息 | 国家自然科学重大资助项目(96989626 ),国家自然科学基金重点资助项目(697898 2),国家“863”高技术资助项目(2 1AA312 8 ,2 2AA31224 ,2 1AA122 32) |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2010-11-23 ; 2011-04-29 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17759] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 裴为华. 倒装焊组装的光电混合集成RCE探测器面阵[J]. 光电子·激光,2003,14(9):893-896. |
APA | 裴为华.(2003).倒装焊组装的光电混合集成RCE探测器面阵.光电子·激光,14(9),893-896. |
MLA | 裴为华."倒装焊组装的光电混合集成RCE探测器面阵".光电子·激光 14.9(2003):893-896. |
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