平顶响应的热光可调谐Fabry-Perot滤波器

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	平顶响应的热光可调谐Fabry-Perot滤波器
	左玉华
刊名	光电子·激光
	2004
卷号	15 期号:10 页码:1144-1148
中文摘要	制作了一种平顶响应的热光可调谐滤波器,通过用湿法腐蚀方法将半波长的共振腔分成具有不同光学厚度的两部分,并且使入射光照射到两部分的面积基本上相等,实现平顶响应特性.对该滤波器的输出响应进行检测,实验结果与理论模拟符合,相对透射率的极大值与极小值间的起伏度小于0.01.与实现平顶响应的其他方法相比,本滤波器器件的制作工艺简单,平顶性能优越,容易与其他有源和无源光子器件集成.还给出了制作几十μm量级的共振腔实现平顶窄带响应的热光可调谐滤波器的机理,其输出响应的起伏度小于0.02,3 dB带宽小于1 nm.
英文摘要	制作了一种平顶响应的热光可调谐滤波器,通过用湿法腐蚀方法将半波长的共振腔分成具有不同光学厚度的两部分,并且使入射光照射到两部分的面积基本上相等,实现平顶响应特性.对该滤波器的输出响应进行检测,实验结果与理论模拟符合,相对透射率的极大值与极小值间的起伏度小于0.01.与实现平顶响应的其他方法相比,本滤波器器件的制作工艺简单,平顶性能优越,容易与其他有源和无源光子器件集成.还给出了制作几十μm量级的共振腔实现平顶窄带响应的热光可调谐滤波器的机理,其输出响应的起伏度小于0.02,3 dB带宽小于1 nm.; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:06:20导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:06:20Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4720.pdf: 308514 bytes, checksum: 5e474f85f8150f50a6252b919544ef05 (MD5) Previous issue date: 2004; 国家重点基础研究发展规划973资助项目,863项目,国家自然科学重大基金资助项目; 中国科学院半导体研究所
学科主题	光电子学
收录类别	CSCD
资助信息	国家重点基础研究发展规划973资助项目,863项目,国家自然科学重大基金资助项目
语种	中文
公开日期	2010-11-23 ; 2011-04-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17407]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	左玉华. 平顶响应的热光可调谐Fabry-Perot滤波器[J]. 光电子·激光,2004,15(10):1144-1148.
APA	左玉华.(2004).平顶响应的热光可调谐Fabry-Perot滤波器.光电子·激光,15(10),1144-1148.
MLA	左玉华."平顶响应的热光可调谐Fabry-Perot滤波器".光电子·激光 15.10(2004):1144-1148.