神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造

	神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造
	裴为华
刊名	传感技术学报
	2006
卷号	19 期号:5A 页码:1404-1406
中文摘要	为了从中枢神经系统记录电信号，半导体加工技术已经被用于微电极探针的制造．介绍了一种硅基探针的设计和制造工艺流程．我们已经制造出15 μm厚，3 mn长,100μm宽的记录用探针，每根探针含有7个记录点，间隔120 μm.在制造过程中使用微机械系统(MEMS)工艺中常用的硅表面微加工工艺:等离子增强化学气相淀积(PECVD)，感应耦合等离子刻蚀(ICP)以及硅的各向异性刻蚀等．测试结果给出了探针的强度和阻抗特性．
学科主题	光电子学
收录类别	CSCD
资助信息	国家高科技研究发展计划资助,国家自然科学基金资助
语种	中文
公开日期	2010-11-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16495]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	裴为华. 神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造[J]. 传感技术学报,2006,19(5A):1404-1406.
APA	裴为华.(2006).神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造.传感技术学报,19(5A),1404-1406.
MLA	裴为华."神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造".传感技术学报 19.5A(2006):1404-1406.